概述
量子理论描述物质与能量在原子、亚原子尺度的行为;量子研究则通过操控这些态,获得可重复、可测量的结果,以支撑计算、通信与传感等新技术。
现代量子实验大量依赖光学操控与探测,对象包括离子/原子阱、超导与半导体结构、量子点、碳纳米管、光子系统、中性原子,以及金刚石中的氮空位(NV)中心等。测量往往要求分辨单个分子或原子,这意味着必须在极低光子通量、低噪声条件下高速采集数据。
在可见光(VIS)至近红外(NIR)范围,EMCCD 与 emICCD 已成为量子光学探测的主力;若需延伸至短波红外(SWIR,对光通信尤为重要),则多采用科学级 InGaAs 面阵。下文按官网技术文章结构,说明相机如何工作于单光子量级,并给出三个真实应用示例。
电子倍增 CCD(EMCCD)
EMCCD 在不外加像增强器的情况下,通过片上电子倍增(EM)增益,在任意帧率下把光子产生的电荷放大到读出噪声之上,从而服务极弱光成像。
- 倍增寄存器:在电荷进入片上读出放大器之前完成增益,等效读出噪声可降低至 EM 增益的 1/G;增益可达 1000× 以上,有效读出噪声可 <1 e⁻ rms。
- 高帧率优势:传统科学 CCD 慢读出时读出噪声约 2–3 e⁻,高速读出可达数十至上百 e⁻;EM 增益可克服该限制,适合需要高帧率的极弱光实验。
- 实时反馈:如光晶格中原子/分子控制等实验,需近乎实时获取图像;PICam API 支持事件回调,ProEM-HS:1024BX3(GigE)在读出结束后约 2 ms 内可完成 1024×1024 帧解析。
- 过剩噪声因子 F:EM 增益为统计过程,F 通常在 1.0–1.4(增益高达 1000× 时仍在此范围),需在总噪声模型中计入。


杂散电荷(CIC)与单光子计数
当电子在倍增寄存器中逐像素转移时,时钟边沿偶发产生次级电子,即时钟诱导电荷(CIC)。曝光时间不影响 CIC,但在输入通量约 ≤1 光电子/像素或进行光子计数时,CIC 往往成为主导噪声源。
- ProEM-HS:512BX3 的 CIC 可优化至约 0.002 e⁻/像素/帧;宜采用最快垂直移位速率(如 300 ns)并在实用范围内降低时钟摆幅。
- 通过在暗场高增益图像上设定阈值,可区分 CIC 事件与真实光子事件;若明确用于单光子计数,出厂可针对最低 CIC 做优化。
- 光子计数适用于通量远低于 1 光子/像素/帧的情形,统计的是「是否发生单光子事件」而非积分强度;暗噪声与 CIC 必须足够低。

eXcelon®3 传感器与光学窗口
标准背照 EMCCD 虽灵敏度高,但在 NIR 易出现法布里-珀罗条纹(etaloning)。Teledyne 专利 eXcelon3 技术可显著抑制条纹并提升量子效率。
- eXcelon3:NIR 条纹幅度最多降低约 70%;UV 段 QE 最高约 3×、NIR 约 1.3× 提升;可选 Unichrome 镀膜延伸至 200 nm 以下。
- 单窗口真空设计:光子仅经一片真空窗到达传感器,未镀膜时每面约 3–4% 损失;增透(AR)镀膜可将总损失降至 <1%,相干光场景还可采用楔形窗抑制眩光与条纹。
- AR 镀膜通常在窄波段性能最佳,选型需与实验波长匹配。



ICCD 与 emICCD
ICCD 在 CCD 前级联像增强器:光子经光阴极、微通道板(MCP)倍增后在荧光屏上转为更多光子,再被 CCD 记录。增强器可纳秒级门控,实现超快快门。EMCCD 擅长极弱光但无皮秒—微秒门控;ICCD 门控极快但 MCP 饱和时线性度较差。
emICCD 将 EMCCD 与增强器光纤耦合,兼得亚纳秒曝光、片上 EM 增益与高 QE,并改善 ICCD 单独使用时的线性度与动态范围。

表 1 · emICCD、EMCCD、ICCD 性能对比
| 指标 | emICCD | EMCCD | ICCD | 说明 |
|---|---|---|---|---|
| 线性度 | 高 | 高 | 中—低 | emICCD 在两级增益间优化 |
| 门控 | 是 | 否 | 是 | emICCD / ICCD 可达亚纳秒 |
| 杂散噪声 | 有,低于 EMCCD | 有,可忽略 | 无 | emICCD 可用较低 EM 增益 |
| 最短曝光 | 亚纳秒 | 毫秒级 | 亚纳秒 | |
| 抗强光 | 较弱 | 较强 | 较弱 | |
| 光子计数 | 优秀 | 优秀 | 一般 | emICCD 可结合纳秒级时序 |
| 系统增益 | 高 | 中 | 低 | 两级增益可调 |
应用一:单离子纳米热机(emICCD)
德国美因茨大学与奥格斯堡大学团队提出用单个激光冷却离子实现「纳米热机」实验方案,并在 Paul 阱中实现类似四冲程奥托循环:对钙离子交替加热(电噪声)与激光冷却,工作产物体现为约 100 kHz 的振荡,需精确观测其时空演化。
- 单离子相干时间可达 10 分钟以上,是量子计算、量子热力学研究的理想平台。
- 采用 Teledyne Princeton Instruments emICCD,曝光仅 0.5 μs,即可分辨 100 kHz 离子运动。
- 数值模拟表明在 realistic 条件下热机效率可达约 30%;团队随后完成单原子热机实物验证。

应用二:金刚石 NV 中心量子动力学(emICCD)
加拿大舍布鲁克大学团队利用超高灵敏度 emICCD,在 100 μm × 100 μm 范围内以像素级分辨率成像金刚石氮空位(NV)中心的量子态。NV 中心由替位氮原子与相邻空位构成,室温下可用电磁场相干操控,荧光便于光学初始化与读出。
- 微波发生器、声光调制器(AOM)与 emICCD 外触发同步;通过「logic out」帧计数实现时序对齐。
- 门控须与激光读出脉冲精确对齐;序列门控功能可将门脉冲相对触发移动,用于 Rabi 振荡与自旋回波。
- 单像素与 10×10 像素区域均呈现良好信噪比的 Rabi 振荡;π 脉冲约 150 ns。
- 1 μs 门宽可获得 0 与 -1 自旋态间最大荧光对比;相比 PMT+boxcar,emICCD 快门与高消光比使测量对初始化脉冲不敏感。


应用三:SWIR 量子点单纳米晶光谱(InGaAs)
洛斯阿拉莫斯国家实验室 Han Htoon 博士使用液氮制冷 InGaAs 相机(NIRvana®:640),对发射约 1250 nm 的硫化铅(PbS)量子点做单纳米晶光谱测量,并与无像散 IsoPlane® 320 成像光谱仪耦合。
- 激发:405 nm 连续光,功率密度约 3 W/mm²;积分时间 10 s;50×/0.65 NA 物镜,室温样品。
- 深度制冷 InGaAs 的长积分能力与极低暗计数,为 SWIR 单纳米晶实验提供其他 InGaAs 相机难以达到的对比度。
- 该团队首次报道此类 SWIR 发射量子点的单纳米晶光谱研究;MIT 等课题组亦用同系列相机评估 InAs 基 SWIR 量子点,用于下一代活体 SWIR 成像。

选型建议
若实验需要纳秒级门控、单光子计数与时序精密对齐(离子阱、NV 中心、等离子体门控等),应优先评估 emICCD(如 PI-MAX4)。若以极弱光、高帧率、实时反馈为主且无需超快门,ProEM-HS 等高速 EMCCD 更合适。SWIR 单光子/单纳米晶光谱则需深度制冷 InGaAs(如 NIRvana 系列)配合成像光谱仪。
- 相关系列:PI-MAX4(门控 emICCD)、ProEM(高速 EMCCD)。
- 关注指标:EM 增益、CIC、门宽/消光比、QE 曲线、AR 镀膜波段、制冷温度与暗电流。